韩国硅片传送机器人
首页 > Wafer Transfer Robot > 韩国晶圆机器人 > 韩国硅片传送机器人
产品名称:
韩国硅片传送机器人型号:
AR-W300H-300价格:
100000最小起订量:
100000
产品摘要:
大气环境下的双臂硅片传送机器人-Wafer transfer robot wiht double arms in Atmosphere condition
- 产品描述
Model Name
AR-W300H-300
Structure
Cylindrical Coordinate
Moving Axes
4
Operating Range (MAX)
A-axis
510mm
B-axis
510mm
θ-axis
330˚
Z-axis
300mm
Operating Speed (MAX)
A-axis
1700mm/sec
B-axis
1700mm/sec
θ-axis
470˚/s
Z-axis
500mm/s
Repeatability
±0.1mm
Cleanliness
Class 1(0.1㎛/cf)
Payload
3kg(Including the hand)
Opertaitng Environment
Atomoshperic
Temp. : 0~40℃
Humid. : 70% under
Robot Weight
Approximately 27kg
Appearance
Aluminium white Alumite SUS buffing(#400)
- 其它产品