日本电产三协玻璃基板搬运机器人-G4.5G代

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产品摘要:

特点: FO-PLP 可用于EFEM(应对多层设备)


产品描述

基本规格

动作范围 R轴 -1190 ~ +1190 ㎜
动作范围 Z轴 ~2400 ㎜
动作范围 θ轴 -140 ~ +185°
动作范围 走行轴 ~11700 ㎜
最大速度 R轴 3.32 rad / sec
最大速度 Z轴 900 ㎜ / sec
最大速度 θ轴 2.4 rad / sec
最大速度 走行轴 3000 ㎜ / sec
重复定位精度 ±0.2 ㎜
最大有效载荷 15 kg / 1Arm (包HAND)
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