日本尼得科-三协玻璃基板搬运机器人-G4.5~6G代
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日本尼得科-三协玻璃基板搬运机器人-G4.5~6G代型号:
SR8651
产品摘要:
NIDEC-SANKYO玻璃基板搬运机器人-G4.5~6G代,特点: 采用手臂驱动方式使旋转半径较小- 产品描述
基本规格
真空度 1.3×10-5 Pa or less 动作范围 R轴 -565 ~ +565 ㎜ 动作范围 Z轴 ~820 ㎜ 动作范围 θ轴 -185 ~ +140° 最大速度 R轴 1.22 rad / sec 最大速度 Z轴 350 ㎜ / sec 最大速度 θ轴 2.09 rad / sec 重复定位精度 ±0.2 ㎜ 最大有效载荷 65 kg / 1Arm (包HAND)
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