日本NIDEC尼得科晶圆搬运机器人
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产品名称:
日本NIDEC尼得科晶圆搬运机器人型号:
SR8241价格:
10000最小起订量:
10000
产品摘要:
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。 特点： ・大搬送范围的设计・独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积・应对10mm的片间距・和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度・具有多功能和可回旋的手臂・3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列
- 产品描述
基本信息
自由度 5-AXIS 可动范围「翻转轴」(deg) +/-275 可动范围「X轴」(㎜) -750～+750 可动范围「Z轴」(㎜) 470 可动范围「θ轴」(deg) +/-170 最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42 最大速度「X轴」(rag/sec) 2.44(1952㎜/sec) 最大速度「Z轴」(㎜/sec) 720 最大速度「θ轴」(rag/sec) 6.54 最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42 最大速度「最大可搬重量」(kg) 2 最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.05 最大速度「本体重量」(kg) 70 最大速度「控制器」 SC5000 产品搬运公司 日本电产三協
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