日本三协晶圆（晶片）搬运机器人
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产品名称:
日本三协晶圆（晶片）搬运机器人型号:
SR8240价格:
10000最小起订量:
10000
产品摘要:
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。 特点： ・300mm 应对2～3端口・紧凑的构造、很小的占有面积・具有多功能和可回旋的手臂・独立的双驱动系统实现2片同时取放・和晶圆合同片间距的2片同取放
- 产品描述
基本信息
自由度 5-AXIS 可动范围「翻转轴」(deg) -270～+450 可动范围「X轴」(㎜) -432～+432 可动范围「Z轴」(㎜) 300 可动范围「θ轴」(deg) +/-180 最大速度「翻转轴」(rad/sec) 9.42 最大速度「X轴」(㎜/s) 1680 最大速度「Z轴」(㎜/s) 500 最大速度「θ轴」(㎜/s) 8.72 最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1 最大速度「本体重量」(kg) 60 最大速度「控制器」 SC5000 产品搬运公司 日本电产三協
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