日本电产三協（NIDEC SANKYO）晶圆搬运机器人
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产品名称:
日本电产三協（NIDEC SANKYO）晶圆搬运机器人型号:
SR8220价格:
10000最小起订量:
10000
产品摘要:
通过高操控性的伺服马达和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。 特点： ・采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2～8英寸包括12英寸的晶圆的搬送
- 产品描述
基本信息
自由度 4-AXES 可动范围「R1/R2轴」(㎜) Short：-265 ～+245/Standard：-212～+321/Long:-319 ～+447 可动范围「Z轴」(㎜) 300/400/450/600 可动范围「θ轴」(deg) 340 最大速度「R1/R2轴」(rad/sec) 5.76 最大速度「Z轴」(㎜/sec) 450 最大速度「θ轴」(rad/sec) 6.97 最大速度「最大可搬重量」(kg) 2 最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1 最大速度「本体重量」(kg) 60/70/85 最大速度「控制器」 SC5000 产品搬运公司 日本电产三協
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