Nidec-Sankyo三协玻璃基板搬运用机器人

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产品摘要:

液晶・OLED玻璃基板・FO-PLP搬运机器人:R9581、SR8670、SR8673、SR99S5、SR8670、SR8653、SR9145、SR99L1、SR8651、SR9143、SR9183、SR8651、SR9143、SR9148、SR9183、SR8651、SR9148、SR9183。


产品描述

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

玻璃尺寸(G) 机器人型号 Data sheet 环境(大气/氮气) 真空 特征
G10.5 SR9581 Series    
SR8670 Series   手臂伸展时旋转轴的旋转半径较小
SR8673 Series   采用滑块驱动方式,直线性能优异
G8.6 SR99S5 Series    
SR8670 Series   手臂伸展时旋转轴的旋转半径较小
SR8653 Series   采用滑块驱动方式,直线性能优异
G6 SR9145 Series   采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR99L1 Series   采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series   采用手臂驱动方式使旋转半径较小
G4.5 SR9143 Series   采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9183 Series   采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series   采用手臂驱动方式使旋转半径较小
G2 SR9143 Series   采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9148 Series     采用伸缩式结构(应对Z轴比较短的状态)
SR9183 Series   采用支柱式结构(应对Z轴比较长的状态)
SR8651 Series   采用手臂驱动方式使旋转半径较小
FO PLP
(510mm×515mm)
(600mm×600mm)
 
SR9148 Series     EFEM用
SR9183 Series     可用于EFEM(应对多层设备)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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